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半導體行業—元器件/密封件密封性檢測解決方案

方案概述

用于電子元器件/密封件檢漏，方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成

下載解決方案
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方案優勢

性能優越

性能優越

最小可檢漏率低，靈敏度高，檢測量程達到12級
自動清氦

自動清氦

獨特的氣路設計，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時間，有效防止氦污染
智能化生產

智能化生產

智能故障提示及報警功能
方案構成

方案構成

用于電子元器件/密封件檢漏，方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成

行業應用

華為

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中國電子科技集團第三十八研究所

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